一、核心結(jié)構(gòu)組成
1、氣冷羅茨真空泵模塊
采用一對精密嚙合的“8”字形轉(zhuǎn)子，通過齒輪反向同步旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子間及與泵殼間隙嚴格控制在0.1~0.8mm；
泵體集成冷卻器組件，將冷卻氣體引入吸氣腔，直接降低氣體壓縮產(chǎn)生的熱量；
無油潤滑設(shè)計，無需密封油或潤滑劑，避免介質(zhì)污染。
2、液環(huán)真空泵模塊
葉輪偏心安裝于泵腔，旋轉(zhuǎn)時形成閉合液環(huán)(常用水或有機溶劑)，分割出周期性變化的“氣腔”；
液體循環(huán)系統(tǒng)維持液環(huán)穩(wěn)定性，兼具密封、冷卻及捕集可凝性氣體的功能。
3、系統(tǒng)集成設(shè)計
氣冷羅茨泵與液環(huán)泵串聯(lián)，液環(huán)泵作為前級泵優(yōu)先建立基礎(chǔ)真空；
控制系統(tǒng)根據(jù)真空度閾值自動切換兩級泵運行狀態(tài)。
二、工作流程
1、啟動階段
液環(huán)泵率先運行，液膜膨脹形成負壓，快速將系統(tǒng)壓力降至10^3 Pa量級；期間液環(huán)吸收氣體壓縮熱量，防止過熱。
2、主抽真空階段
當真空度達到預(yù)設(shè)值(約10^3~10^2 Pa)，氣冷羅茨泵啟動，轉(zhuǎn)子以3450~4100轉(zhuǎn)/分高速旋轉(zhuǎn)，擴大抽速并提升極限真空至10^-2 Pa量級；
冷卻氣體持續(xù)降低羅茨泵腔內(nèi)溫度，相比傳統(tǒng)設(shè)計減少約30%熱負荷。
3、協(xié)同穩(wěn)壓階段
液環(huán)泵轉(zhuǎn)為輔助泵，處理羅茨泵排出的氣體并維持系統(tǒng)壓力平衡；
液環(huán)持續(xù)捕集粉塵或可凝蒸汽，保護羅茨泵免受污染。
三、技術(shù)優(yōu)勢
1、高效溫控：氣冷設(shè)計簡化散熱結(jié)構(gòu)，避免傳統(tǒng)水冷系統(tǒng)的復(fù)雜管路，液環(huán)則通過循環(huán)液體進一步吸收殘余熱量；
2、耐污染性：液環(huán)泵前置過濾雜質(zhì)，氣冷羅茨泵無油設(shè)計減少介質(zhì)污染風險；
3、寬域適配：單級羅茨泵極限真空達6.5×10^-2 Pa，雙級泵可達1×10^-3 Pa，適用于化工、制藥等高純真空場景。
