羅茨旋片真空泵機組具有真空度高，抽速范圍廣等特點，它較適用于抽除干燥、潔凈的氣體。羅茨旋片機組是由羅茨泵做為主抽泵，單級或雙級旋片真空泵做為前級泵組成的抽氣機組。當帶有氣鎮(zhèn)裝置時，也可以抽除含少量水蒸汽的氣體。
羅茨旋片真空泵機組主要有以下性能特點：
1、羅茨旋片真空機組是由羅茨真空泵做為主抽泵，單級或雙級旋片泵做為前級泵的低、高真空獲得設(shè)備，整套機組安置在一個機架上，配以管道、閥門和電器操作控制箱，并還配有冷卻水管系統(tǒng)，機組結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便，該真空機組真空度高、噪音低、可持續(xù)工作。
2、羅茨旋片真空機組各泵之間的名義抽速之比一般在4∶1至10∶1之間，為了防止前級旋片真空泵停機返油，在前級管道上裝有電磁放氣閥，其動作與前級旋片真空泵的電機聯(lián)動，從而保證了該泵正常高效地工作。
3、為了提高真空機組的抽氣性能，達到較高的極限真空和改善在低入口壓力時的抽速特性及對大型真空機組配用較小規(guī)格的前極泵，羅茨旋片真空機組也可根據(jù)客戶要求用二級羅茨真空泵串聯(lián)成三級機組。
羅茨旋片泵真空機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)。
羅茨旋片真空機組適用于抽吸空氣及其它無可凝性、無腐蝕性的氣體，廣泛應(yīng)用于需要大抽速和需要獲得低、高真空的各種真空系統(tǒng)。例如：真空冶煉、鋼液脫氣、真空燒結(jié)、大型空間模擬試驗中的動態(tài)真空的獲得，電力電容器、變壓器真空浸漬處理，日光燈管、燈泡自動生產(chǎn)線上的排氣，保溫瓶膽的連續(xù)排氣，真空鍍膜設(shè)備中的預(yù)抽，鎂還原過程中的抽氣，單晶硅提煉過程中的除氣等等。
